Nanolithografie

Als Nanolithografie oder Nanolithographie bezeichnete ein Elle Verfahren, stirbt sie zur prinzipiell Erzeugung einge von Struktur in der Größenordnung less Nanometer – Eigner. Dazu gehört beispielweise der EUV , Elektronenstrahl und Nanoprägelithographie . Sie wurden von der Königin des Jahres mit ihrer konventionellen Photolithographie behandelt und waren sehr bekannt für die Wiederherstellung der Integrität .

Weitere Anwendungsbereiche Liegen im Bereich der Nanotechnologie , beispielsweise bei der herstellung von Mikrosystemen , Wie Mikroreaktor .

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